Op de NEVAC-dag 2025, 6 juni in Enschede, kreeg Silke Peters de NEVAC-prijs uitgereikt. Peeters is promotie-onderzoeker in de onderzoeksgroep
Atomic Scale Processing, Faculteit Applied Physics van de Technische Universiteit Eindhoven. Ze kreeg de prijs toegekend voor haar artikel “Plasma-geassisteerde atoomlaagdepositie van supergeleidende metaalnitriden voor quantumtechnologieën”. Het artikel verscheen dit jaar in het
NEVAC blad 2025, nr. 1 van het NEVAC blad en op de NEVAC-dag gaf Peeters er een presentatie over.
Door de ontwikkeling van quantumcomputers gloort een ongekende revolutie in rekenkracht. Echter, de nanometerschaalstructuren die nodig zijn om de vereiste qubits en quantumcircuits de juiste functionaliteit te geven, behoeven zeer zuivere materialen en nauwkeurige aangroei. De vacuümtechniek plasma-geassisteerde atoomlaagdepositie (plasma-enhanced ALD, PEALD) blijkt een veelbelovende methode te zijn, zoals ze laat zien voor de aangroei van supergeleidende TaN- en NbTiN-lagen met beheersing van de materiaaleigenschappen. Het is een noodzakelijke uitbreiding van de ‘quantumgereedschapskist’, aldus Peeters.