Agenda

ALD-ALE 2021 The AVS 21st International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2021) featuring the 8th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2021) will be a three-day meeting dedicated to the science and technology of atomic layer controlled deposition of thin films and now topics related to atomic layer etching. Since 2001, the ALD conference has been held alternately in the United States, Europe and Asia, allowing fruitful exchange of ideas, know-how and practices between scientists. This year, the ALD conference will again incorporate the Atomic Layer Etching 2021 Workshop (ALE 2021), so that attendees can interact freely. The conference will take place Sunday, June 27-Wednesday, June 30, 2021, at the JW Marriott Tampa Water Street in Tampa, Florida.
VCCN Minisymposium Product Cleanliness High Tech Campus Eindhoven

Suppliers are increasingly being asked to deliver clean products to OEM companies (Original Equipment Manufacturer). Because there is a need for a definition of how clean the product must be, VCCN set up the Nano, Micro, Product Cleanliness project group in 2017. This working group consists of OEM companies, suppliers and knowledge companies. Soon after the working group started, there was a need to develop a guideline so that everyone speaks the same language with regard to product cleanliness. With the help of OEM companies, who set requirements for the cleanliness of the product, they are energetically working on drawing up VCCN Guideline 12.

In this mini-symposium, experts present the progress of VCCN Guideline 12 and provide substantive contributions. The speakers will be:

Koos Agricola, project manager VCCN Guideline 12
Philip van Beek, Contamination Q&A, VCCN
Max van de Berg, Festo
Rients de Groot, Thermo Fisher Scientific
Paul Krüsemann, Eurofins Material Science Netherlands B.V.
Freek Molkenboer, TNO
Olof Teulings, NTS Mechatronics
Dirk Trienekens, ASML Netherlands B.V.

The chairman of the day is Philip van Beek, co-initiator of the Nano, Micro, Product Cleanliness project group.
AVS 67th International Symposium & Exhibition The AVS International Symposium and Exhibition has been developed to address cutting-edge issues associated with vacuum science and technology in both the research and manufacturing communities. The Symposium is a week long forum for science and technology exchange featuring papers from technical divisions and technology groups, and topical conferences on emerging technologies. The equipment exhibition is one of the largest in the world and provides an excellent opportunity to view the latest products and services offered by over 200 participating companies. More than 3,000 scientists and engineers gather from around the world to attend. Short courses are offered in conjunction with the International Symposium providing specialized training in specific areas of vacuum science and related technologies. A Career Workshop and Job Center are also offered to all attendees. The Workshop covers such topics as résumé preparation, job search skills, networking, interviewing skills, and more. The Job Center provides the opportunity for job seekers to submit their résumés and meet with potential employers.

meer agenda

Opdamptechnieken

Doelgroep
De cursus is bedoeld voor technische medewerkers, die nauw betrokken zijn bij opdamptechnieken. Gewenste vooropleiding: MBO-techniek of overeenkomstig niveau.
Omdat in de beroepsopleiding van zowel MBO-ers als HBO-ers weinig tot geen aandacht wordt besteed aan vacuümtechniek in het algemeen en opdamptechnieken in het bijzonder, kan deze cursus voor beide categorieën een zinvolle aanvulling zijn.

Doelstelling
De cursus geeft inzicht in de fysische principes van het opdampen.
Na afloop van de cursus hebben deelnemers meer inzicht verkregen in het opdampproces, waardoor zij gemakkelijker problemen herkennen en kunnen oplossen. Zij zijn bekend met het probleem van veront­reinigingen en weten door welke factoren dit wordt bepaald. Zij kunnen een keus maken tussen weerstandsopdampen, opdampen vanuit een Knudsencel of E-beam opdampen, weten de voor- en nadelen van deze principes. Ook zijn zij in staat een eenvoudig restgasspectrum te analyseren en kunnen op grond daarvan vaststellen of de restgassamenstelling al dan geen invloed heeft op de aard en veront­reiniging van de op te dampen laag. Zij beseffen dat schoonmaakprocedures en netjes werken van eminent belang zijn voor een correct opgedampte laag.

Korte inhoud
Programma eerste drie uur:
  • Opdampmethodes met hun voor- en nadelen
  • Hoe gaan we tegen dat het substraat verontreinigt?
  • Rekenvoorbeelden van verontreiniging bij het opdampen van zilver
  • Wat voor materialen gebruiken we voor het opdampen?
  • Richtingsverdeling, kwartskristal, toolingfactor, spot­afmeting bundel
  • Liners, voor- en nadelen. Kaufmannbron (sputterbron)
  • Doel van de shutter. Co-evaporatie
  • Ongewenste lading op het substraat
  • Sublimeren van materialen met al hun problemen
Programma tweede drie uur:
  • Aangroei van opgedampte laag op het substraat
  • Laagaangroei en oppervlakteruwheid
  • Mobiliteit van opgedampte deeltjes
  • Hilocks van aluminium
  • Laagaangroei van goud en zilver op silicium en glas
  • Opdampen van oligomeren
  • Anti-reflectie coatings
  • Schoon­maaktechnieken van substraten
  • Clean room discipline. Voorbeelden van opdampsystemen
  • Wat zijn geschikte vacuümpompen?
  • Materiaalkeuze, afdichtingen
Er is aan de cursus geen examen verbonden, wel kunnen deelnemers na afloop van de cursus een Bewijs van Deelname ontvangen (meerprijs).

Cursusduur
Een dag.

Aanbieder
M. Mulder, T 06-30676712, mintemulder17@gmail.com

Opties
  • Geen inschrijfcursussen
  • Bedrijfscursus op locatie
Voor meer informatie, mogelijkheden en prijzen neem contact op met de cursusaanbieder.



[javascript protected email address]