Opdamptechnieken

Doelgroep
De cursus is bedoeld voor technische medewerkers, die nauw betrokken zijn bij opdamptechnieken. Gewenste vooropleiding: MBO-techniek of overeenkomstig niveau.
Omdat in de beroepsopleiding van zowel MBO-ers als HBO-ers weinig tot geen aandacht wordt besteed aan vacuümtechniek in het algemeen en opdamptechnieken in het bijzonder, kan deze cursus voor beide categorieën een zinvolle aanvulling zijn.

Doelstelling
De cursus geeft inzicht in de fysische principes van het opdampen.
Na afloop van de cursus hebben deelnemers meer inzicht verkregen in het opdampproces, waardoor zij gemakkelijker problemen herkennen en kunnen oplossen. Zij zijn bekend met het probleem van veront­reinigingen en weten door welke factoren dit wordt bepaald. Zij kunnen een keus maken tussen weerstandsopdampen, opdampen vanuit een Knudsencel of E-beam opdampen, weten de voor- en nadelen van deze principes. Ook zijn zij in staat een eenvoudig restgasspectrum te analyseren en kunnen op grond daarvan vaststellen of de restgassamenstelling al dan geen invloed heeft op de aard en veront­reiniging van de op te dampen laag. Zij beseffen dat schoonmaakprocedures en netjes werken van eminent belang zijn voor een correct opgedampte laag.

Korte inhoud
Programma eerste drie uur:

• Opdampmethodes met hun voor- en nadelen
• Hoe gaan we tegen dat het substraat verontreinigt?
• Rekenvoorbeelden van verontreiniging bij het opdampen van zilver
• Wat voor materialen gebruiken we voor het opdampen?
• Richtingsverdeling, kwartskristal, toolingfactor, spot­afmeting bundel
• Liners, voor- en nadelen. Kaufmannbron (sputterbron)
• Doel van de shutter. Co-evaporatie
• Ongewenste lading op het substraat
• Sublimeren van materialen met al hun problemen

Programma tweede drie uur:

• Aangroei van opgedampte laag op het substraat
• Laagaangroei en oppervlakteruwheid
• Mobiliteit van opgedampte deeltjes
• Hilocks van aluminium
• Laagaangroei van goud en zilver op silicium en glas
• Opdampen van oligomeren
• Anti-reflectie coatings
• Schoon­maaktechnieken van substraten
• Clean room discipline. Voorbeelden van opdampsystemen
• Wat zijn geschikte vacuümpompen?
• Materiaalkeuze, afdichtingen

Er is aan de cursus geen examen verbonden, wel kunnen deelnemers na afloop van de cursus een Bewijs van Deelname ontvangen (meerprijs).

Cursusduur
Een dag.

Aanbieder
M. Mulder, T 06-30676712, mintemulder17@gmail.com

Opties

• Geen inschrijfcursussen
• Bedrijfscursus op locatie

Voor meer informatie, mogelijkheden en prijzen neem contact op met de cursusaanbieder.